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OP5240I（膜厚儀）

涌淳半導體專注于半導體工藝設備的研發(fā)、制造、銷售及售后一體化服務，提供半導體廠商工藝設備的一站式解決方案。

關鍵詞：

半導體設備、半導體工藝

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產(chǎn)品描述

Opti-Probe 5000 用于非接觸式晶圓膜厚測量，通過測量單層或多層晶圓上薄膜的光學參數(shù)（反射光和建模的薄膜參數(shù)），計算出薄膜厚度。Opti-Probe 5000 集成了多達六種不同的技術來測量薄膜厚度以及反射率，使用 laser，white light lamp，D2 lamp 等光源進行測量。

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